论文研究了基于动力学蒙特卡罗法建立单晶硅湿法腐蚀精确仿真计算模型的关键技术，依据己发表文献中和已有的实验数据，利用蒙特卡罗计算模型实现了体硅多次掩膜加工复合工艺的辅助设计系统。论文还研究了单晶硅各向异性腐蚀工艺的表面微观形貌及其规律，并使用计算模型对提出的假设进行了验证。论文主要研究内容如下:　　 论文首先以单晶硅六个晶面族分类为背景，分析同一晶面族内各晶面表面原子规律性排列的特点，确定台阶和台地原子的类型，总结了它们在腐蚀过程中对各向异性速率和表面形貌的作用和影响。　　 基于动力学蒙特卡罗方法，在台阶流动(step flow)模型上引入了RPF腐蚀概率方程，确定蒙特卡罗转移概率，扩充了研究文献中的RPF函数参数，使其适应低浓度下的腐蚀液，在中等和低浓度的加工条件下的计算结果符合实验的结论。　　 仿真程序开发中，利用树状结构及变时间步长法实现了动力学蒙特卡罗的各向异性腐蚀模型，并通过模拟一个9步复合工艺的复杂硅微加工过程验证了系统的正确性。　　 最后，以单晶硅6个晶面族的分类为基础，对{hkl}晶面表面形貌成因和晶面族的形貌的特征进行了讨论，根据腐蚀中杂质的影响因素，在蒙特卡罗模型中引入了抑制移除概率因子，对单晶硅腐蚀加工中的表面形貌进行模拟计算，输出的结果也与已有的实验结论相一致。