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随着微型能量收集器技术的快速发展和众多应用需求,如何实现环境动能的高效获取与高效转换,已成为微型能量收集器技术研究的重点。论文以某大型发动机故障监测系统为具体应用对象,提出了一种基于共质量块悬臂梁阵列的微型压电振动能量收集器新结构,介绍了微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的结构与工作原理;基于集总参数模型,分析了影响能量收集器输出性能的主要因数;采用ANSYS有限元仿真软件完成了微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器结构参数的优化设计,制定了相应的加工工艺流程,探索了器件圆片级低真空封装的结构设计与工艺。研