降低成本和提高效率是太阳电池的两大研究主题，硅片占晶体硅太阳电池成本的主要部分，减少硅片材料用量是降低成本的主要途径之一。据此，晶体硅太阳电池正向薄片化方向发展。由于硅是间接带隙材料，厚度减薄会使其短路电流降低，开路电压亦受影响。另一方面在整个制作工艺中易碎，尤其在丝网印刷电极时，成品率低；电极烧结后，由于金属电极与硅片热胀失配，电池易弯曲给电池的组件封装带来困难，也易造成电池的破损。针对这些问题，本文对薄晶体硅太阳电池的工业化生产进行了实验研究，在电池结构和制作工艺上都采取了一些新的措施，并获得了好的实验结果。这些工艺措施是： 单晶硅绒面腐蚀制备工艺研究。从绒面的形成及减反射原理出发，经过反复的实验研究获得了比较理想的单晶硅制绒溶液配方，经测试，在400—1000nm波段，绒面反射率平均为11％，沉积TiO₂减反射膜后反射率平均为2％，达到了比较理想的减反射效果。好的绒面，对薄硅电池不仅是好的减反射结构，也是好的光陷阱结构。 电极浆料及对薄硅太阳电池性能的影响研究。通过实验，优化电极浆料，筛选出了薄硅太阳电池弯曲度最小（0.55mm）的铝背场结构浆料。 电极欧姆接触特性研究。从金属—半导体接触理论及丝网印刷烧结电极出发，研究了不同扩散表面掺杂浓度及不同表面介质情况下，金属—半导体接触电阻与电极烧结温度的关系。结果表明较高的磷扩散表面掺杂浓度有利于电极的接触，并获得了具有低比接触电阻（0.003Ωcm²）的太阳电池优化工艺。 以上结果提高了薄晶体硅太阳电池的性能，对工业化生产具有参考价值。