本论文中着重研究了一种极具发展潜力的用于高频的薄膜电感材料：铁氧体薄膜材料－Mn-Zn铁氧体薄膜。块体材料Mn-Zn铁氧体的电阻率高、软磁性能好、使用频率宽，适于作高频软磁材料。目前对于Mn-Zn铁氧体薄膜材料存在的主要问题就是饱和磁化强度Ms较块体材料低，矫顽力Hc较块体材料高。因此在这里我们致力于解决的问题是尽量提高薄膜的饱和磁化强度Ms、降低矫顽力Hc,使其性能尽量与块体材料接近。 　 本文采用射频溅射方法制备了Mn铁氧体薄膜，研究了热处理过程及溅射氧分压对薄膜微结构和磁性能的影响，研究了溅射氧分压对其性能的影响，综合饱和磁化强度Ms、矫顽力Hc两方面考虑，找到溅射时最合适的氧分压为5﹪。文中研究了溅射过程中氧分压对薄膜磁性能的影响，找出了最合适的氧分压为5﹪(压强比)。研究了薄膜厚度对不同成分薄膜磁性能的影响，表明大于300nm后薄膜磁性能变化不大。