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用于气体传感器的多孔型低功率微加热器
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)以其低电压和低功耗设计等优点在便携式电子应用中占据优势,因此它已成为系统设计的关键组成部分。在检测易燃或有毒气体存在的安全应用中,微机电系统(MEMS)气体传感器的需求不可避免。而随着民用消费电子领域对气体传感器需求的不断增加,低功耗引起了人们的广泛关注。气体传感器的低功耗特性一直是由其功能元件—微加热器所决定的,因此,微加热器的设计与实现具有重要意义。低功耗微加热器的设计在
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2021年08期
【基金项目】
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