p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备与物性研究

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【摘要】

：

透明导电氧化物(TCO)具有高的电导率,同时在可见光范围内透明度高,因此通过施主掺杂的In2O3,ZnO和SnO2等TCO材料已广泛应用于平板显示器、太阳能电池的透明电极,以及透明薄膜晶体管和薄膜光电器件。其电导率约达到了104 S/cm量级,但上述材料均为n型导电材料,而p型透明导电氧化物材料非常少,且其电导率与n型TCO材料相比低3-4个数量级,因此难以实现以p-n为基本结构的器件的实际应用。

【作者】

：

赵凡贵

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2009年06期

【关键词】

：

陶瓷电导率 CuAlO2薄膜透射光谱 PLD方法磁控溅射方法

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