该论文利用小尺寸效应降低薄膜的相对介电常数,以提高电压响应优值和探测度优值,利用组分非梯度复合宽化铁电相变温区,使薄膜以高的热释电系数出现在较宽的温度范围,主要研究内容如下.第一部分综述了主要热释电材料的性能、研究历史、发展趋势和应用前景,比较其热释电性能;并对热释电材料进行了分类,其中重点介绍了钽铌酸钾的各种材料.在第二部分中首先以TaCl<,5>和NbCl<,5>为原料制备了乙醇钽和乙醇铌,产物产率和纯度高,能够满足应用需要;其次利用化学镀在单晶硅片上镀铂制备了薄膜底电极并对其进行了性能测试;探讨了溶胶-凝胶法制备钽铌酸钾薄膜的机理,并对溶胶-凝胶法制备钽铌酸钾薄膜的工艺条件进行了较为详细的讨论,提出了优化的制备工艺;运用优化的溶胶-凝胶法制备工艺制备了两种五组分非梯度KTa<,1-x>Nb<,x>O<,3>(x=0.55,0.50,0.40,0.525,0.425)热释电薄膜.第三部分对制备出的0.5μm五组分非梯度KTa<,1-x>Nb<,x>O<,3>(x=0.55,0.50,0.40,0.525,0.425)热释电薄膜进行了测试.研究了薄膜中钾组分的偏高对薄膜结构的影响,提出了相应的对策和措施,达到了预期的效果;分析研究了五组分非梯度热释电薄膜的介电、铁电和热释电性能,实验结果表明:在很宽的温度范围内,它具有很高的热释电系数,并且其电压响应优值和探测度优值也很高,为热释电材料的研究和开发开辟了一条新的途径.