上海同步辐射光源具有辐射功率高、光谱广阔连续、准直性高、亮度高、偏振性好等优于普通光源的特点。由于上海光源比第二代光源具有更小的发射度和更高的光谱亮度，因此对光源光束线上精密光学元件也提出了更高的要求。　　 双晶单色器是同步辐射光束线的关键部件，其作用是通过改变入射光束与晶体表面的夹角(Bragg角)从同步辐射白光选择出单色光。而改变出射单色光能量，为同步辐射实验提供单色光，满足科学实验需求。　　 单色器能否顺利出光的影响因素很多，其中主要因素之一是双晶的平行度。当双晶单色器的双晶晶格衍射面平行度大于晶体的达尔文宽度时，白光X射线通过晶体单色器后在固定出口方向和位置上得不到单色X光，无法开展实验。因此，双晶晶面平行度是离线衡量晶体单色器性能好坏的一个重要参数。　　 目前测量双晶单色器双晶平行度的方法主要是自准直仪法。自准直仪法测量角度变化具有方法成熟、测量设备简便和精度高等优点。但自准直仪是通过测量平面转动前后的角度，来标定双晶的平行度变化的，因此无法测量双晶单色器的双晶绝对平行度。　　 本文主要是针对上海光源(SSRF)光束线建设和自主研制晶体单色器需要进行双晶晶体表面(晶面)平行度离线测量的需求，在Jun Lim和Seungyu Rah等人提出的光笔干涉仪法原理基础进行了改进，用十字位相板取代盖玻片，并开展原理性实验研究。通过探测光与参考光的干涉图样在CCD上面是否重合来判断双晶是否达到平行，从而在实验上验证了十字位相板光笔干涉仪法测量双晶晶体表面平行度的可行性。　　 该方法克服了自准直仪不能测量晶面绝对平行度的缺陷，实现了在投角和滚角两个方向同时测量绝对平行度的功能。投角和滚角的理论测量精度分别可以达到0.89”和1.79”(以CCD像元尺寸3.45μm计算)，这一改进为双晶单色器晶面平行度的测量提供了一种新的测量方法。