基于压电微悬臂梁阵列的并行探测相关技术研究

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【摘要】

：

扫描探针显微镜(SPM)的原理是利用一端固定,另一端装有针尖的弹性微悬臂梁来检测样品表面形貌或其他表面性质。该系统分辨率高、操作简单,被广泛应用于材料研究、缺陷分析、成膜条件评价、质量控制等诸多方面;确立了微悬臂梁在样品表面性质研究和微小探测领域的主导地位。目前常用的单探针SPM检测面积小、扫描速度低、检测效率也较低,不能完全满足现今MEMS发展对检测范围以及效率的要求。为提高SPM的检测效率、扩

【作者】

：

孔雯

【机构】

：

中国科学技术大学

【发表日期】

：

2010年05期

【关键词】

：

PZT薄膜 SPM 并行探测 MEMS 图像拼接

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