红外干涉仪在球面及非球面元件的高精度检测中有着不可或缺的作用,而中波红外干涉仪因其波段的特殊性,更是在军事、航天、能源等领域的光学应用中有着独特地位。本文应国内行业需要,重点研究中波红外干涉仪研制中的关键技术。总结了红外干涉仪尤其是中红外干涉仪的国内外发展现状,通过对红外干涉仪的原理分析。在现有斐索型干涉仪的基础上提出了口径100mm的移相式斐索中波红外干涉仪的设计方案,主要包括了光路的设计(双三角式转折光路)及移相算法的分析和改进。研究了移相式斐索中波红外干涉仪的装调、大伸长量移相器的机构标定测试及中红外激光干涉系统杂散光等系列问题。建立了波长为4.41μm,口径为φ100mm的移相式中红外干涉测量系统。同时开展了应用测试研究,测试了口径为φ20mm的非球面元件的面形误差、口径为φ30mm的硫系玻璃的折射率均匀性,给出了测试结果的三维波面图。应用近似理想的标准平面与球面对该中波红外干涉测量系统进行了不确定度分析,系统测量的不确定度达λ/169(λ=4.41μm)。