铁电隧道结的电输运特性研究

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铁电隧道结是以超薄铁电薄膜作为势垒层夹在两个电极之间的异质结构,具有隧穿电阻效应。铁电隧道结的高低两个电阻态可以分别代表逻辑态“0”和“1”,因此,可应用于下一代非挥发性随机存取存储器。本文从理论和实验两个方面对铁电隧道结的隧穿电阻效应进行了研究,具体研究内容及结果如下。(1)从理论上研究了单铁电层隧道结和具有量子阱结构的铁电隧道结。研究结果表明,相对传统的单铁电层隧道结,具有单量子阱结构的铁电隧道结TER值可以提高一个数量级以上,而多阱结构隧道结相对单阱结构隧道结可再次将TER值提高一个数
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