随着无线通信技术的发展,微波无源器件正在向着小型化、轻型化、高性能、低成本的方向发展。许多传统的工艺技术满足不了器件小型化的需求,而低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)技术采用的叠层工艺、三维布局的方式,使得小型化、高性能的微波无源器件成为可能。微波滤波器是微波系统中必不可少的组成部分,因此,微波滤波器小型化的研究具有非常重要的意义。本文从LTCC工艺出发,介绍了LTCC相对于传统工艺的巨大优势,接着介绍了滤波器设计理论,分别建立了两种结构形式的内埋电感模型和两种结构形式的内埋电容模型,分析其关键的三项参数:有效电容、电感值,品质因数和自谐振频率。基于以上的理论基础,设计了几款滤波器:(1)阶梯阻抗型低通滤波器,截止频率为1.7GHz,通带内插入损耗小于2d B,带外在2.1GHz到6GHz范围内抑制大于20d B;(2)集总LC型LTCC低通滤波器,截止频率为1.7GHz,在满足与(1)相同指标的情况下,其外形尺寸仅为4.8mm?2.4mm?0.72mm;为了比较其在尺寸和性能方面的优劣,将以上两种滤波器设置为相同的设计指标,结果表明,基于LTCC技术的集总LC型低通滤波器更能够实现小型化、高性能的要求,体现了LTCC技术的优势。(3)集总LC型LTCC带通滤波器,中心频率为2GHz,带宽为200 MHz的。仿真结果表明,其通带内插入损耗小于2d B,带外在2.3GHz到3GHz范围内抑制大于30d B,外形尺寸为4mm?1.62mm?0.995mm。各种滤波器的指标均满足设计要求,且基于LTCC技术的集总LC型滤波器实现了滤波器小型化的目的。