【摘 要】
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该论文首先介绍了激光加工对激光光束的光学性能的要求,在分析激光材料的作用的基本物理过程的基础上,阐明了激光刻划的基本原理.在深入分析激光器谐振腔理论和高斯光束的性
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该论文首先介绍了激光加工对激光光束的光学性能的要求,在分析激光材料的作用的基本物理过程的基础上,阐明了激光刻划的基本原理.在深入分析激光器谐振腔理论和高斯光束的性能基础上,针对精密刻划对激光光束性能的要求,对于实际应用于精密刻划的YAG固体激光器,分析了影响其功率和发散角的各种因素,经过理论分析和实验,计算出激光器的输入阈值和斜率效率,并根据输出最佳耦合条件,计算出最佳输出镜反射率,分析了谐振腔腔型、限模光阑对于激光输出发散角的影响.在理论分析和精确计算以及实验的基础上,研制出适合激光精密度刻划的激光器,并根据对刻划的速度要求,研制出能实现高速刻划的光学扫描系统.
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