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在综述了国内外绝缘陶瓷材料发展和应用以及其加工技术现状的基础上对辅助电极法绝缘陶瓷电火花加工原理和优点进行了分析.对加工参数和辅助电极厚度对绝缘陶瓷氮化硅电火花加工过程的影响进行了工艺实验研究,总结出加工规律.对工件加工表面进行了测试分析.得出了加工过程中的放电电压波形.通过比较辅助电极法电火花加工前后的工件表面X衍射测试分析结果发现:氮化硅工件表面上导电层的主要成份为碳化硅,这可能是由工作液热分解出来的碳粒子与工件材料作用所生成的.通过对加工表面的SEM测试分析发现:绝缘陶瓷氮化硅的蚀除以熔化、气化、热应力去除、热剥离等方式为主.