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随着科学技术的发展,采用直线电机直接驱动工作台的方式越来越多。直线电机直接驱动与精密滚珠丝杠副传动进给方式相比,具有进给速度快、加速度高、定位精度好、行程长和动态响应快等特点。对于由直线电机驱动的气浮工作台来说,由于气浮工作台缺少必要的阻尼环节,使得直线电机进给系统阻尼小、抗扰动能力差,易产生超调和振荡现象,从而限制了直线电机直接驱动气浮工作台的使用范围。因此,开展直线电机直接驱动气浮工作台关键技术研究是一项非常有意义的工作。经过前期研究,本文提出了“基于电流变阻尼器气浮工作台关键技术的研究”课题,