太赫兹波为0.1Thz~10THz的电磁波,和其他频段相比,太赫兹技术的应用还不成熟,主要是因为缺乏有效的太赫兹源和太赫兹检测设备。目前主流的太赫兹波段的探测器有混频接收机、辐射热测定器、超导接收机和二极管直接检波接收机等。辐射热测定器和超导接收机需要在低温环境下工作,混频接收机有着较高的灵敏度和较好的噪声系数,多用于航天遥感、深空探测等对灵敏度要求比较高的领域,但是电路结构比较复杂,造价也比较昂贵。相比之下,肖特基二极管构成的直接检波接收机具有很快的反应时间,室温环境下就可以使用,造价也相对比较便宜,同时还具有结构简单、不需要本振、功耗低、体积小的优点。肖特基二极管是太赫兹领域应用非常广泛的二极管,常被用于设计混频器、倍频器、检波器等器件的设计中。它的SPICE参数表征了二极管的基本特性,是仿真设计中非常重要的参数,本文通过理论方法和基于ADS的优化方法利用实测的I-V曲线数据提取了二极管的SPICE参数。肖特基二极管本身存在一些寄生参量,设计微波毫米波电路的时候一般没有考虑其影响,但是在太赫兹频段,寄生参量将将对电路产生较大影响。本文根据二极管的模型结构分析了其寄生参量构成的等效电路,并根据HFSS场仿真结果提取了其寄生参量的值。本文设计了一个基于微带线和一个基于悬置微带的单片太赫兹检波器,通过HFSS软件设计了电路的各个关键部分,包括波导到微带的过渡、低通滤波器、匹配电路、直流回路等,将整个结构的场仿真结果结合二极管的SPICE参数在ADS中进行整体的谐波平衡仿真,设计结果基本达到了要求,微带检波器最高检波电压灵敏度高于1000V/W,相应的反射系数优于-25dB,悬置微带检波器电压灵敏度高于900V/W,相应的反射系数优于-25dB。目前,检波器版图已完成,加工方正在进行流片,后续将进行测试和结果分析。