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自从1969年Deb发现WO3薄膜的电致变色效应之后,电致变色材料得到了广泛应用。钒氧化物在不同价态表现出不同颜色,并且V2O5具有层状结构,有利于电子和离子的传输。V2O5是一种很好的电致变色主体材料,Mo掺杂可以大大提高其性能,因而Mo掺杂V2O5电致变色材料被广泛研究。为了找到一种更有效的制备Mo掺杂V2O5薄膜工艺,本文尝试了溶胶凝胶结合电泳沉积的工艺。研究了沉积工艺最主要的影响因素电压对成膜质量的影响,寻找最佳的沉积Mo掺杂V2O5薄膜的电压。同时研究了Mo掺杂V2O5薄膜的动