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光纤传感器形貌测量系统优化设计研究

来源 :中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lsy0718

【摘 要】

：

表面形貌是指表面存在连续凹凸不平的微观几何形状,它在很大程度上影响并决定零件的使用性能,这种影响存在于机械、集成电路、生物医学和光学等诸多领域。合理有效的评价表面形貌对表面加工质量和保证产品性能具有非常重要的理论意义。反射式强度调制型光纤传感器(RIM-FOS)具有非接触式、结构简单、设计灵活等优点,被广泛应用于位移、表面形貌、粗糙度等物理量的测量。利用反射式强度调制型光纤传感器对表面形貌进行测量

【作 者】

：

杨睿 

【出 处】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

光纤传感器 光强调制函数 误差分析 测量系统优化 数据融合 

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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