ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备与性能研究

来源 :中国科学院广州能源研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sxx1203
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透明导电薄膜具有透光率高,导电性好,硬度高,红外热反射特性等优点,广泛应用于平板液晶显示器,太阳能电池,触摸屏等不同的光电器件中。目前得到应用的IT0膜主要是采用磁控溅射工艺制备的,但成本昂贵。该论文以透明导电热反射薄膜为研究对象,采用制备工艺简单、低成本的溶胶凝胶法制备高质量掺锡氧化铟(IT0)薄膜。   该论文主要工作如下:   (1)系统探讨了不同稳定剂的IT0溶胶的稳定性。研究表明,以二乙醇胺为稳定剂的情况下,溶胶的稳定性最好,有利于得到表面均匀的薄膜。   (2)通过DTA-TG,FTIR等分析方法分析了IT0薄膜从不同配位剂的凝胶态向结晶态的转变过程。研究表明,以二乙醇胺为稳定剂情况下,当热处理温度超过400℃时,薄膜的转变过程基本完成,最适合在玻璃基片上制备IT0薄膜。   (3)成功制备了可见光透过率大于80%、表面电阻接近400欧姆的IT0薄膜。   (4)采用化学沉积法制备了AT0/Zn0核-壳结构纳米粒子,分析了该结构的光催化性能。
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