PZT薄膜漏电性能研究

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【摘要】

：

锆钛酸铅(Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3,简写为PZT)薄膜是一种极具发展前景的电子功能薄膜,它具有剩余极化大、介电常数大、使用温度范围广等优点,被广泛的应用于非挥发铁电存储器、传感器、微致动器、红外探测器、电光调制器等方面。制备高度致密、表面平整光滑、低漏电特性的PZT薄膜材料,是研制PZT基薄膜器件的重要基础。由于薄膜材料的漏电流特性直接反映出电子功能薄膜材料的电学性能,因此研究PZT

【作者】

：

周冬

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2016年01期

【关键词】

：

PZT薄膜缺陷化学结构形貌漏电流空间电荷限制电流(SCLC)

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