双光子聚合加工微纳结构的收缩特性及补偿方法研究

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双光子聚合(Two-Photon Polymerization,简称TPP)加工技术是利用超快短脉冲激光诱导物质发生聚合进而形成预期结构的加工技术,具有极高的加工分辨率和真三维制造的能力。利用此技术所制备的三维微纳功能性器件已被广泛应用于航空航天、军事、信息科学、组织工程、生物医学等诸多领域。但是,由于在TPP加工过程中通常伴随着加工材料的固液结构转换,加工结构的不均匀收缩成为获得高质量三维微纳结构的重要阻碍。因此,对于双光子聚合加工微纳结构的收缩特性及补偿方法的研究具有十分重要的意义。本文针对三维
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