【摘 要】
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微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）作为当今科技研究的热点之一，不仅蕴含着巨大的经济效益，而且体现出了在国家战略高科技中的重要地位，已逐渐成长为一个庞大的领域。作为MEMS微器件和微结构主要实现手段之一的微细电铸技术，以其工艺柔性好、复制精度高、可加工高深宽比3D微结构而受到了业界普遍欢迎。然而，受制于液相传质困难，微细电铸件往往会出现针孔、结瘤、
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微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）作为当今科技研究的热点之一，不仅蕴含着巨大的经济效益，而且体现出了在国家战略高科技中的重要地位，已逐渐成长为一个庞大的领域。作为MEMS微器件和微结构主要实现手段之一的微细电铸技术，以其工艺柔性好、复制精度高、可加工高深宽比3D微结构而受到了业界普遍欢迎。然而，受制于液相传质困难，微细电铸件往往会出现针孔、结瘤、氢脆等缺陷，造成微细电铸在应用和发展上受到一定影响，彻底解决微细电铸过程中的传质受限问题已成为国内外众多
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