高新技术企业作为引领我国科技发展的重要引擎,支撑并加快我国经济发展模式的转变。由于高新技术企业主要开展的是技术开发和技术成果转化活动,大部分资金需要投入到回报周期长、潜在风险大的研发活动中,基于此我国出台了一系列优惠政策来促进高新技术企业的发展,以此来带动我国科技的发展。我国为扶持高新技术企业的发展,先后出台了各项优惠政策,主要包括财政补贴政策和优惠税率、税费减免等税收优惠政策。以信息技术业为例,深科技等公司在2013年获得了约55亿元政府补助,同比增长19%。然而,国家对高新技术企业的扶持并没有取得预期的政策效益,出现了三安光电等事件,由此带来的一个重要问题是:财税补贴是否能够真正促进高新技术企业发展?是否能够落实到提高高新技术企业绩效的轨道上来?欲探求财税政策对高新技术企业绩效的影响方向及力度,首先要对高新技术企业绩效进行全面、准确的计量。所以本文结合高新技术企业自身发展特点,将高新技术企业绩效定义为涵盖财务绩效、技术绩效和社会绩效三个层面,并通过因子分析法得到企业绩效的综合得分。确定了高新技术企业绩效的度量方法之后,本文通过引入外部性理论、委托代理理论和利益相关者理论,从正反两方面分析财税补贴存在的必要性以及可能导致的低效率,并提出假设。在此基础上,运用多元线性回归模型对2012-2013年在信息技术业、电子业和生物制药业上市的104家公司数据进行检验,以分析财税补贴是否达到了预期的效果。研究分析得出税收优惠可以显著提升高新技术企业的绩效,尤其在财务绩效和技术绩效方面起到了显著的促进作用。而财政补贴与企业绩效之间不存在显著性关系,仅仅提高了社会绩效水平,对财务绩效和技术绩效无明显作用。结论表明我国财税补贴对高新技术企业绩效在一定程度上有促进作用,但也存在一些问题,没能完全发挥其促进作用。针对实证研究结果,本文提出以下几点建议:1.将税收优惠作为财政政策的主导方向。2.加强财政补贴资金的发放管理。3.建立并完善财政补贴资金的评价体系以及公开透明的监管机制。