激光干涉位移传感器是利用激光干涉测距原理而研制出来的一种高精度位移传感器。它涉及到半导体激光技术、光学设计、光电转换及信号处理技术等多门学科，是以上各学科交叉应用的研究领域。本文在全面分析各种主要高精度位移传感器的优缺点的基础上，采用基于迈克尔逊干涉仪的单频激光干涉测距法。它具有体积小，测量精度高，反应速度快等优点。在现代超精密加工测量领域中有重要的应用前景。　　首先，分析迈克尔逊干涉仪及其测距的原理，在此基础上建立激光干涉位移传感器的原理框图，并利用ZEMAX光学设计软件，对光路进行设计、仿真，使本研制的激光干涉位移传感器的光路得到优化，并获得了良好的等厚干涉条纹。　　其次，选用了高质量的蓝光半导体激光器件作为激光源。利用一个功率检测器作为反馈单元，对激光半导体驱动电路进行改进，使半导体激光器输出功率更稳定，从而使干涉条纹质量更好。另外，还选用了高光电转换速度和效率的蓝光光电转换器件组来制作光电转换电路。使用一个光电转换器件组来获得相位差为90°的两路信号，通过相应信号的处理，以分辨运动方向，进行细分、计数及显示。　　最后，制作了一个完整的试验平台。除了对其进行静态性能测试外，还对其误差产生的原因进行分析。本试验装置简单可靠,为后续研究打下了良好的基础，对其他人的研究也有一定的参考意义。