随着科技的快速发展,大口径光学元件被广泛地应该于多个领域,相移干涉仪作为检测大口径光学元件的主要手段,其相移干涉测量方法不断地发展及完善。传统的相移干涉法是硬件相移法,如推动压电陶瓷实现相移等,但是这种方法对于大口径的光学元件存在很大的测量误差;而波长调谐相移法的出现可以克服硬件相移所存在的问题,但是波长调谐相移中也会存在相移非线性误差,从而会对面形检测结果产生影响。本文主要研究了波长调谐相移过程中的相移校正问题。传统的一维时域傅里叶变化相移校正法是对单个采样点进行处理,从而获得相移量;本文采用基于极值函数法的相移校正法,主要是通过构建每步相移的误差函数,通过求取每步相移时误差函数的极值点实现相移的精确校正。同时为了减小测量误差,研究了温度、干涉腔长以及步长等因素对相移以及面形测量结果的影响,主要研究内容如下:首先,阐述了相移干涉测量技术以及波长调谐相移校正技术的研究现状。将传统的相移校正方法和基于极值函数法的相移校正方法进行理论仿真及实验对比,结果表明利用该方法进行相移校正的结果更加准确。为了将测量误差最小化,通过ANSYS有限元分析法研究了温度对相移结果的影响;同时还通过Matlab仿真分析了干涉腔长、步长对相移结果的影响。然后搭建实验装置,对上述理论分析进行了实验验证,从而得到了最佳的实验测量条件。基于该条件,利用极值函数法的相移非线性校正法对相移误差进行了校正,随后利用波长调谐相移干涉仪和Zygo干涉仪分别对口径为100mm的被测光学平面镜进行了面形检测,将与波长调谐相移干涉仪所得的绝对检测结果进行对比。结果表明:当相移误差校正后,波长调谐相移干涉仪的测量结果和绝对检测结果更为一致。最后完成了对320mm大口径光学平面镜的面形检测。