【摘 要】
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气浮式非接触输运由于其非接触、无污染、不生磁等特点,在玻璃基板缺陷检测仪器中得到广泛应用。玻璃基板在气浮支承下由于气膜压力分布不均匀和气膜厚度不稳定等因素,会产生相应的变形或振动,进而影响缺陷检测的精度。针对这一问题,本文采用理论和实验结合的方式,对玻璃基板在气浮支承下的振动情况展开了研究,主要工作和结论有:(1)基于气体润滑基本理论以及气膜压力分布的仿真图,以气浮支承单元的形式对气膜的气体压力分
【基金项目】
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国家自然科学基金项目:“气浮传输过程中弹性薄板的流固耦合振动研究”,项目批准号:51975178,2020-2023;
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气浮式非接触输运由于其非接触、无污染、不生磁等特点,在玻璃基板缺陷检测仪器中得到广泛应用。玻璃基板在气浮支承下由于气膜压力分布不均匀和气膜厚度不稳定等因素,会产生相应的变形或振动,进而影响缺陷检测的精度。针对这一问题,本文采用理论和实验结合的方式,对玻璃基板在气浮支承下的振动情况展开了研究,主要工作和结论有:(1)基于气体润滑基本理论以及气膜压力分布的仿真图,以气浮支承单元的形式对气膜的气体压力分布进行了推导,并进一步建立了气膜承载力与气膜厚度的关系式;(2)针对玻璃基板在气浮支承下的低频振动,基于气浮支承的气腔处气体压缩性变化,对低频振动的机理进行了探究,并建立了其振动的数学模型。根据建立的低频振动模型,分析得出影响低频振动的主要气浮参数。调整气浮参数进行了玻璃基板低频振动实验,实验结果验证了数学模型的准确性。(3)针对玻璃基板在气浮支承下的高频振动,通过软件仿真,分析正压孔处垂直分量气流是引起玻璃基板高频振动的主要原因。调整气浮参数进行了玻璃基板高频振动实验,实验验证了分析的正确性,并通过实验总结了不同气浮参数对高频振动的影响规律。通过设计正交试验,比较了各气浮参数对玻璃基板高频振动幅值影响的大小,并得到了一组最优的气浮参数。本文的研究解释了造成玻璃基板在气浮支承下振动的主要原因,探究了不同气浮参数对玻璃基板振动的影响规律,为玻璃基板气浮系统设计提供了理论参考。
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