连续波DF/HF化学激光器运转产生的尾气中含有HF、DF等含F的有毒酸性气体,如果直接排放到大气中,会严重污染环境,影响激光器操作人员的健康。因此,在尾气排放到大气之前,必须对尾气进行洗消,以去除其中的有害气体。本文首先介绍了DF/HF化学激光器的工作原理,氟元素对于环境和生物体的危害性,以及蒸汽(燃气)引射系统的噪声污染,并简要综述了DF/HF化学激光器现有的尾气处理方案。研究了采用真空罐排气的尾气处理方案和紧凑型激光器的尾气处理方案,给出了基于干法洗消和湿法洗消原理的吸收塔原理和基本结构,给出了干法洗消吸收塔充填量的计算方法。探讨了紧凑型激光器的尾气处理和降噪方案,得出:通过在尾气流中喷入液态水是一种有效的洗消和降噪方法,能够与激光器的引射系统有效地结合,并同时实现洗消和降噪。介绍了对喷水降噪至关重要的喷雾喷嘴的基本原理,选购了合适的喷雾喷嘴,研制了高压水试验设备,进行了喷嘴喷雾的实验。给出了紧凑型化学激光器尾气处理装置的理论设计方案,给出了消声效率和基本参数的计算方法,设计的降噪装置至少可以实现31dB的降噪量。