【摘 要】
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社会的进步、科技的发展对生产、加工制造方面的工艺和精度要求越来越高，同时对机械设备运行状态检测也更加全面，因此需要具有多测量功能的集成化传感器。传感器集成与微型化是传感器的发展方向之一，本论文研究的三维测振传感器能适时获取被测对象的三维振动信息，具有宽广的应用领域，适用于对各类大、中型加工机械进行全方位振动检测。本论文设计的三维测振传感器实现了集成化和微型化，体积和质量都比较小，因此测量时对被测物
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社会的进步、科技的发展对生产、加工制造方面的工艺和精度要求越来越高，同时对机械设备运行状态检测也更加全面，因此需要具有多测量功能的集成化传感器。传感器集成与微型化是传感器的发展方向之一，本论文研究的三维测振传感器能适时获取被测对象的三维振动信息，具有宽广的应用领域，适用于对各类大、中型加工机械进行全方位振动检测。本论文设计的三维测振传感器实现了集成化和微型化，体积和质量都比较小，因此测量时对被测物体振动的影响小，能够实现比较准确的测量。本论文主要研究传
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