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透明导电氧化物薄膜具有高的载流子浓度和较宽的光学能隙，因而表现出优良的光电性能，如低的电阻率和在可见光范围内高的透射率。目前，透明导电氧化物薄膜主要包括SnO2、In2O3、ZnO及上述氧化物的掺杂体系。近年来，ZnO薄膜成为国内外薄膜材料工作者的研究热点之一，有望成为In2O3薄膜的最佳替代品：通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能应用于许多光电器件，如作为透明导电电极在液晶显示、太阳能电池、热镜和表面声波器件等领域获得广泛的应用。 本文采用溶胶—凝胶方法在载玻片上成功地制备出Al3+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经反应制得；用浸渍提拉法在基片上涂膜，经烘烤和退火处理形成均匀透明的ZnO薄膜。 采用L9（34）正交设计法，对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究，通过极差法确定了在溶胶—凝胶方法制备条件下得到最佳光电性能AZO薄膜的工艺条件为：溶胶浓度1mol／L、掺杂量3at.％、镀膜层数16层、退火温度600℃。采用溶胶-凝胶工艺制备的AZO薄膜在可见光范围内的最高透射率在87％左右，最低电阻率可达3.4×10-2Ω·cm。 利用SEM、分光光度计和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明：掺杂量、退火温度、涂膜层数和溶胶浓度对AZO薄膜光电性能均有不同程度的影响。增加掺杂量和提高退火温度都能降低薄膜的电阻率，但过多的掺杂和过高的退火温度反而会增加电阻率；增加溶胶的浓度和涂膜层数均能增加薄膜的厚度，薄膜厚度的增加会导致薄膜电阻率的降低。增加掺杂量和提高退火温度对薄膜在可见光范围内的平均透射率基本无影响，但能促进薄膜的吸收边“蓝移”；增加溶胶浓度和涂膜层数均降低薄膜在可见光范围内的透射率。薄膜内部呈多孔结构，晶粒大小均匀，且成等轴状。