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CuInGaSe2太阳能薄膜及其靶材制备技术发展与前景
CuInGaSe2太阳能薄膜及其靶材制备技术发展与前景
被引量 : 0次 | 上传用户:MK654321
【摘 要】
:
以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分析并预测得出合金-靶溅射将成为工艺主流,而合金熔铸法将成为溅射靶材合理的制备工艺。
【作 者】
:
陈慧
张佼
王俊
【机 构】
:
上海交通大学材料科学与工程学院;
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
CuInGaSe2(CIGS)
溅射靶材
制备工艺
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以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分析并预测得出合金-靶溅射将成为工艺主流,而合金熔铸法将成为溅射靶材合理的制备工艺。
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