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刻蚀机一二
刻蚀机一二
被引量 : 0次 | 上传用户:shenzhixian
【摘 要】
:
上期讲到,作为芯片制造的三大核心设备(光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备)之一的光刻机,我国差距还很大,要想进入世界先进行业还需要更多的时间和技术积累。不过从刻蚀机角度来
【发表日期】
:
2004年期
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上期讲到,作为芯片制造的三大核心设备(光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备)之一的光刻机,我国差距还很大,要想进入世界先进行业还需要更多的时间和技术积累。不过从刻蚀机角度来讲,我国的刻蚀设备还是有希望的;在台积电即将量产的5nm芯片工艺中,中微半导体的5nm蚀刻机已经打入台积?
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