【摘 要】
：
采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和
【机 构】
：
同济大学精密光学工程技术研究所;上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室;
【基金项目】
：
国家863计划;上海市博士后资助计划(10R21416000)
论文部分内容阅读
采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表明:SiO2薄膜的残余应力在两个环境中均表现为压应力,且随沉积温度的升高均逐渐增大。干燥环境下与大气环境相比,应力值减小了约100MPa。此外,随沉积温度的升高,薄膜折射率不断增大,表面粗糙度逐渐减小。说明:随着沉积温度的变化,SiO2薄膜的微结构发生了改变。相应地,由水诱发的应力随薄膜致密度的增加而逐渐减小。
其他文献
目的观察足三里穴位注射维生素B12治疗糖尿病周围神经病变(DPN)的疗效。方法选择80例DPN患者,随机分成足三里穴位注射维生素B12合甲钴胺治疗组和单用甲钴胺对照组各40例。对
以纳米TiO2光催化处理水培过多茬生菜的营养液,研究了营养液中植物自毒物质、有效态Fe、Mn、Zn元素含量的变化,并以处理后的营养液水培生菜,研究了纳米TiO2光催化处理对水培
利用了FeO42-在酸性条件下的有关反应,以磺基水杨酸为指示剂,建立了用EDTA间接滴定FeO42-的新方法。用于高铁酸盐的制备和使用过程中测定,测定结果与邻菲口罗啉法一致。
气管插管致喉痉挛时ＳｐＯ２的变化与处理（附６例报告）福州市第一医院周洁民，郑胜宇，程高升喉痉挛是一种严重的通气障碍，不但造成低氧血症和高碳酸血症，还可引起胃内容物误吸与心跳骤停而致死
目的:探讨叶酸代谢关键酶基因MTHFR C677T、A1298C和MTRR A66G多态性在育龄女性中的分布特征,并分析不同的遗传特征对外周血叶酸、维生素B12和同型半胱氨酸(HCY)浓度的影响。
目的:考察妊娠期消化性溃疡患者血清中叶酸、维生素B12(Vit B12)和铁蛋白水平的变化。方法:收集2010年3月~2014年5月在该院诊断为消化性溃疡的产前检查的妊娠早、中和晚期孕
上海某 60 Co源辐照装置发生了一起严重的辐射事故 ,致使 7人遭受全身相对均匀的急性外照射。事故后立即组织人员进行调查和取证 ,确认违章操作是造成这次辐射事故的直接原因
采用冷压烧结技术制备La2O3掺杂17Ni/(NiFe2O4-10NiO)金属陶瓷惰性阳极材料,研究了La2O3掺杂对材料显微结构、烧结致密化、抗高温氧化性能及耐熔盐腐蚀性能的影响。结果表明:
采用联吡啶铁/H2O2体系在可见光照射条件下(λ>450nm)降解芥子气模拟剂2-氯乙基乙基硫醚(2-CEES).考察了不同反应条件下的降解效果,通过EPR分析确定了反应过程中产生的高活性
目的优选超临界CO2萃取眩晕定方中5味药材的工艺条件。方法以萃取率、丹参酮ⅡA、阿魏酸、丹皮酚含量为评价指标,高效液相色谱法定量,采用正交设计试验法,探讨超临界CO2萃取