2007年中国评估论坛

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微波放电是在微波激励源的激励之下,由波导或微波传输线传输能量,在微波谐振腔内形成非平衡放电等离子体的气体放电。相较于直流、低频、射频等其他激励方式,微波放电的频率较高,有助于提高放电时的电子密度,具有粒子密度高、放电均匀稳定、能量转化效率高和无电极污染等优点。微波放电等离子体技术最早可以追溯自上世纪60年代,经过多年发展,已经成为一种成熟的等离子体发生技术,广泛应用于元素检测、薄膜沉积、表面清洗、
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