南大光电投资北京科华将共同研发突破193nm光刻胶

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在近日召开的“光刻胶技术与产业发展研讨会”上,江苏南大光电材料有限公司与北京科华微电子材料有限公司正式签约,南大光电将投资北京科华1.23亿元,占科华股份31.39%。双方携手后,除了持续开展248nm光刻胶全线产品开发外,同时还将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。?
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