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在外极管式电容耦合反应器中,进行了六甲基二硅氧烷(M_2),六甲基环三硅氧烷(D_3)和八甲基环四硅氧烷(D_4)的等离子体聚合,聚合物沉积在多孔聚丙烯底膜上。这些复合膜表现出不同的透气性能,其中六甲基二硅氧烷等离子体聚合复合膜表现出最大的氧氮选择性。应用IR,XPS、SEM等手段对聚合膜进行了表征。