离子轰击对HIPIMS制备TiN薄膜结构和性能的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songzilang
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用高功率脉冲磁控溅射技术制备TiN薄膜,通过基架自转与固定的调节方式,研究了离子轰击对所制备TiN薄膜结构和性能的影响。采用台阶仪测量薄膜的厚度,采用场发射扫描电镜、扫描探针显微镜、X射线衍射仪测试薄膜的表面形貌特征以及组织结构,采用纳米压痕仪测试薄膜的硬度以及弹性模量,采用划痕仪测试膜基结合力,采用电化学工作站测量薄膜的耐腐蚀性能。实验结果表明,在基架固定时,由于薄膜受到持续的离子轰击作用,所制备的TiN薄膜具有更致密的结构,更光滑的表面,更好的结晶性,更优异的机械性能和更良好的耐腐蚀性能。
其他文献
目的探讨优化急求护理流程在急性心肌梗死(AMI)患者抢救时间和抢救成功率的影响。方法选取本院2015年8月-2017年8月期间收治的AMI患者80例进行临床实验,随机分成两组,即对照
<正>"巴铁"是轨道交通创新发展的尝试,为城市公共交通提供了新的选择不管是在哪个城市,交通拥堵几乎都成了共病,成为了人们出行的老大难问题。近日,在第十九届中国北京科技产
企业之间的竞争,说到底是人才间的竞争。伴随时代发展和现代经济的冲击,国有企业正处于转型升级的关键时期,同时也面临着前所未有的冲击和挑战。在国有企业深化改革的攻坚时
日语语法中有很多汉语的影子,这是由于日语从一开始就受到汉语的影响。本文将中日语法现象中的"再归表现"加以对比归纳,以便更好地了解这种语法现象。另外,借助母语的影响,可以
根据沉积构造、粒度、地层倾角测井、特征矿物等综合分析,文昌15-1油田ZJ1-4油组沉积环境为受波浪和潮汐共同作用、以潮汐作用为主的潮坪沉积环境.根据各种沉积微相特征,对钻
本实验以凹凸棒土(ATP)作为载体,双氰胺、钛酸四丁酯为原料,采用溶胶—凝胶法制备凹凸棒土负载氮化碳—二氧化钛(ATP/TiO2-g-C3N4)纳米复合材料,并用XRD、BET、SEM、FTIR等测试手
在以往人们了解和感知茶文化时,其更多是从茶文化的基础内涵出发,并没有过多渗透、融入茶文化体系的整体内涵,正是其体验式和参与者需要的有效诠释,从而使得我们必须成熟而具体的
目的:探讨关节松动术治疗肩周炎患者的疗效。方法:选择62例肩周炎患者,随机分为观察组31例和对照组31例,两组均采用常规治疗,观察组在此基础上进行关节松动术,治疗前及治疗后
实时的短时交通流预测是城市交通控制与诱导的基础,也是智能交通系统的重要功能之一。目前研究发现,没有一种预测模型和方法能够适用于各种环境和条件下的交通流预测,进一步