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<正> 1.引言电子学的飞速发展得力于精细加工技术的帮助。随着材料技术的进步,能得到可进行超精细加工的均匀优质半导体和电介质等电子学用的材料,同时,蚀刻工艺也从原来的湿法处理改变为干法处理,并向更高级的精细化方向发展。
激光感应化学蚀刻
【摘 要】
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<正> 1.引言电子学的飞速发展得力于精细加工技术的帮助。随着材料技术的进步,能得到可进行超精细加工的均匀优质半导体和电介质等电子学用的材料,同时,蚀刻工艺也从原来的湿
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2004年期
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