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Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜
Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mile999
【摘 要】
:
本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学
【作 者】
:
胡倾宇
赵航炜
【机 构】
:
中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1989年3期
【关键词】
:
超导薄膜
SI(100)
SI衬底
超导材料
superconductor YBaCuO
thin film
Si substrate
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本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为78K。
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