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报道了一种声光调Q激光二极管抽运Nd:YVO4晶体腔外五倍频213 nm深紫外全固态激光器。实验上分别利用KTP和两块BBO晶体产生532 nm倍频绿光,266 nm紫外四倍频以及基波与四倍频的混频,实现了从Nd:YVO4近红外激光到213 nm深紫外激光的频率变换。在10.3 W抽运功率下,获得平均输出功率3.1 mW,脉宽7.5 ns的213 nm深紫外激光输出。