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深冷处理对于一些金属材料乃至非金属材料的强度、硬度、耐磨性和尺寸稳定性等机械性能的提高能够起到积极作用,因而广受关注并获实际应用。深冷处理过程中,处理工艺选取和工艺设备是其技术关键。综合现有文献资料,在总结深冷处理工艺主要影响因素的基础上,较为详细地介绍了目前应用较普遍的深冷处理工艺及相关系统流程,并结合国内外研究现状提出了一些展望。