【摘 要】
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通过在富HF的HF-HNO3溶液体系中加入新的添加剂NH3·H2O,对多晶硅片进行了腐蚀试验研究.在溶液配比为HF:HNO3:NH3·H2O:H2O=12:1:1:4(体积比),腐蚀时间为10min时得到的效果最
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通过在富HF的HF-HNO3溶液体系中加入新的添加剂NH3·H2O,对多晶硅片进行了腐蚀试验研究.在溶液配比为HF:HNO3:NH3·H2O:H2O=12:1:1:4(体积比),腐蚀时间为10min时得到的效果最好,多晶硅的织构表面沟槽的密度更高、分布更均匀;在波长300～1000nm的范围内平均反射率为5.13%.能够获得低反射率的多晶硅织构表面的主要原因为:加入的NH3·H2O以及系统中反应生成的NH4NO3分解时产生的N2O气体和NO2-起到关键作用.
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