测量大波差非球面系统的一种新方法

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将朗奇检验的物理原理与同步位相探测技术结合,求出对应于大量值波差或非球面波差函数的一阶导数εW/εx,εW/εy,利用Zernike多项式进行拟合,拟合系数分别为B(kk),C(k),再对波差函数用Zernike多项式拟合,拟合系数为A(k),求出A(k)与B(k),C(k)之间的关系式,从而得到拟合系数A(k),获得波差的三维分布图,文中还对其拟合精度进行了分析讨论。
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