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期刊论文
PCB激光投影光刻照明系统的设计
PCB激光投影光刻照明系统的设计
来源 :广东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:isaxu
【摘 要】
:
针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计
【作 者】
:
林清华
李文静
宋超
王鲁宾
【机 构】
:
广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
:
广东工业大学学报
【发表日期】
:
2007年02期
【关键词】
:
印制电路板
激光投影光刻
照明系统
【基金项目】
:
广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
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针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.
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