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文章介绍制备光化学气相淀积氮化硅薄膜的原理、设备及实验结果。
光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究：I光化学...
【摘 要】
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文章介绍制备光化学气相淀积氮化硅薄膜的原理、设备及实验结果。
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学上海市200030高纯硅及硅烷国家重点实验室,上海市200030高纯硅及硅烷国家重点实验室
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1993年2期
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