KLA—TENCOR 2800宽带深紫外光明场系统帮助CROLLES2 ALLIANCE

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhihu2

【摘要】

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加利福尼亚州圣荷塞讯：KLA-Tencor（NASDAQ：KLAC）日前宣布，由Freescale Semiconductor、STMicroelectronics和Philips Semiconductors三家半导体生产商组成的Φ300mm生产和研发协作

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2006年7期

【关键词】

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ALLIANCE SEMICONDUCTOR 系统宽带 KLA 紫外光 ALLIANCE PHILIPS 加利福尼亚州检测能力

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加利福尼亚州圣荷塞讯：KLA-Tencor（NASDAQ：KLAC）日前宣布，由Freescale Semiconductor、STMicroelectronics和Philips Semiconductors三家半导体生产商组成的Φ300mm生产和研发协作约联盟Crolles2 Alliance已采用新型2800宽带DUV明场系统，这是对KLA-Tencor拥有的独特检测能力的认可。Crolles2在其65nm研发和90nm生产合作中采用2800，可检测到影响成品率的关键性缺陷，而采用上一代的检测工具是

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