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期刊论文
微电子机械系统研究的新动向
微电子机械系统研究的新动向
来源 :机械设计与研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szzc2001
【摘 要】
:
本文综述了当今微电子机械系统的新动向,并列举国际上已达到或接近应用的先进实例以飨读者,供规划参考之用。
【作 者】
:
干东英
【机 构】
:
中科院长春光机所
【出 处】
:
机械设计与研究
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
微电子机械
微型仪器
微型机械
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本文综述了当今微电子机械系统的新动向,并列举国际上已达到或接近应用的先进实例以飨读者,供规划参考之用。
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