【摘 要】
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传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital sign
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
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传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进针,退针、扫描电压的产生、A/D采样、D/A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成;在分辨率为.512×512时,可以获得行频55Hz的扫描速度。实验表明,即便在这样高速扫描的情况下,该系统仍具有良好的成像
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