【摘 要】
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叉指背接触式（IBC）太阳电池因正面没有金属栅线遮挡，具有较高的光电转换效率。但由于IBC太阳电池在制备过程中需要采用光刻掩模技术进行发射极和背电场隔离，导致工艺流程复杂、电池片稳定性较差，难以实现大规模生产。研究了不同厚度的SiO2薄膜、SiNx薄膜和SiO2-SiNx叠层薄膜对IBC太阳电池钝化性能、减反射效果、热稳定性能和电性能的影响，实验结果表明，SiO2-SiNx叠层薄膜在较宽的光谱范围
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叉指背接触式（IBC）太阳电池因正面没有金属栅线遮挡，具有较高的光电转换效率。但由于IBC太阳电池在制备过程中需要采用光刻掩模技术进行发射极和背电场隔离，导致工艺流程复杂、电池片稳定性较差，难以实现大规模生产。研究了不同厚度的SiO2薄膜、SiNx薄膜和SiO2-SiNx叠层薄膜对IBC太阳电池钝化性能、减反射效果、热稳定性能和电性能的影响，实验结果表明，SiO2-SiNx叠层薄膜在较宽的光谱范围内减反射效果更佳，高温热生长的20 nm厚的SiO2薄膜便表现出良好的热稳定性，当选用SiO2-SiNx（厚度分别为20和40 nm）叠层薄膜时，制备的IBC太阳电池光电转换效率稳定，可达24.1%,对应的开路电压为698 mV,短路电流密度为43.25 mA/cm~2,填充因子为79.87%。
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