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概述了高温超导YBCO（Y1Ba2Cu3O7-x）薄膜的基本性质、应用及制备技术的发展。介绍了脉冲激光沉积（PLD）与磁控溅射（MS）等的基本原理、工艺特点和最新发展情况。YBCO薄膜应用于超导电子器件中表现出优良的性能，如超导量子干涉仪（SQUID）等。
高温超导YBCO薄膜及其制备
【摘 要】
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概述了高温超导YBCO（Y1Ba2Cu3O7-x）薄膜的基本性质、应用及制备技术的发展。介绍了脉冲激光沉积（PLD）与磁控溅射（MS）等的基本原理、工艺特点和最新发展情况。YBCO薄膜应用于超导电
【机 构】
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北京科技大学冶金与生态工程学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
：
2006年8期
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