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对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法（KLS）3种动力学蒙特卡罗法的实现过程，讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用，阐述了应用特点。使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序，以（111）晶面的原子移除过程为例，解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点。开发的系统模拟了（311）晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程，刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征。基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算，不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致，较为合理准确。